各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路 (VLSI) 、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等 方面都得到了广泛的应用。全球靶材市场将以 8.8 %的年平均增长率在今后的 5年内持续增 长， 估计销售额将从1999年的 7.2亿美元增加到2004年的11亿美元。靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子，显示器，存储器 以及光学镀膜等产 业上，用以溅射用于尖端技术的各种薄膜材料。