近日，《上海市智能制造行动计划（2019—2021年）》发布，提出在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。光刻机是制造芯片的专用设备，半导体制造过程中最复杂也是最难的步骤就是光刻，但我国暂时还没有量产光刻机的能力，目前来看荷兰的ASML公司占据垄断地位，美日欧等芯片企业基本都是进口这一家的产品。